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TF lab 4040 系列 非接触式单点薄层测试仪

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产品详情
  • TF lab 4040 系列 非接触式单点薄层测试仪
  • TF lab 4040 系列专用于介质尺寸的衬底的非接触单点测量。灵活适用的台式设备允许根据其设置对电阻、金属厚度、光学透明度或电(非)各向同性进行精确的手动测量。最常见的应用包括测量薄导电透明和非透明层、晶片或金属片。
  • 优势
  • 非接触式、实时、稳健

    准确且可重复的测量

    高测量质量,不受以下因素影响:

    均匀的接触质量

    钝化/封装

    粗糙度

    对敏感层无伤害

    精确测量

    传统导电薄膜

    网格和线结构

    多层系统

    隐藏和封装的导电层

    不穿

    用于系统质量保证的软件指导手动映射

    多种测量数据保存和导出功能

    节省空间的智能显示器集成(用于每个触摸屏的测量和数据评估)

    使用客户程序的软件开发套件测试自动化

  • 测量
  • 技术:非接触式涡流(各种传感器类型)

    单点测量

    定位区域:760 mm x 660 (open) mm

    推荐的样品尺寸:10 x 10 mm² 400 x 400 mm²0.5 x 0.5 英寸到 16 x 16 英寸)

    参数:

    薄层电阻 0.1 mOhm/sq 100 kOhm/sq

    金属层厚度 1 nm 2 mm(其他应要求提供)

    光学透明度 0.01 – 100 %

    电各向异性 0.33 - 3

  • 软件和设备控制
  • 非常人性化的软件

    直观的触摸显示导航

    根据设置实时测量薄层电阻、层厚度和光学透明度

    软件辅助手动映射选项

    各种数据保存和导出选项

  • 电阻测试仪参数
  • 测量技术
  • 非接触式涡流传感器
  • 基材
  • 箔、玻璃、晶片等
  • 基板面积
  • 29.5“ x 25.6” / 750 毫米 x 650 毫米(400 毫米 x 400 毫米样品)
  • 最大限度。样品厚度/传感器间隙
  • 3 / 5 / 10 / 25 毫米(由最厚的样品定义)
  • 金属薄膜(例如铜)的厚度测量范围
  • 2 nm – 2 mm(根据电阻
  • 设备尺寸 (w/h/d)
  • 30“ x 12” x 26“ / 760 毫米 x 310 毫米 x 660 毫米
  • 重量
  • 20公斤
  • 更多可用功能
  • 薄层电阻测量、金属厚度测试仪、各向异性传感器、透光率、反射率、雾度
  • VLSR
  • LSR
  • MSR
  • HSR
  • VHSR
  • 范围 [欧姆/平方]
  • 0.0001 – 0.1
  • 0.1 – 10
  • 0.1 – 100
  • 10 – 2000
  • 1,000 – 200,000
  • 精度/偏差
  • ± 1%
  • ± 1 – 3%
  • ± 3 – 5%
  • 重复性 (2σ)
  • < 0.3%
  • < 0.5%
  • < 0.3%
  • * VLSR - 极低薄层电阻,LSR - 低薄层电阻,MSR - 中等薄层电阻,HSR - 高薄层电阻,VHSR - 极高薄层电阻
  • 升级测试
  • 薄层电阻测试仪 Ohm/sq、OPS、Ohm per square

    金属层厚度测试仪 (nm, µm, mil)

    混合系统:光学和电气传感的组合(薄层电阻 + 光学透射率、反射率和漫透射率)

    各向异性和薄层电阻测试仪 (MD/TD)

    湿涂层厚度和残留水分 – HF 

  • <<data_sheet_eddycus_tf_lab_4040sr.pdf>><<data_sheet_eddycus_tf_lab_4040hs.pdf>>


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